TELの9割独占に迫る中国トラック：芯源微、塗布現像の現実
半導体リソグラフィで露光機と直結し、東京エレクトロン（TEL）が世界シェア近90%を独占する塗布現像装置（トラック）。中国で唯一前工程トラックの国産化に成功した沈陽の芯源微（Kingsemi）。液浸ArFiでの量産突破と、EUV・最先端微細化が突きつける巨大な壁を解剖する。
Devices
芯源微（Kingsemi / キングセミ）
Shenyang Kingsemi Co., Ltd. · 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
露光装置とインラインで直結する半導体前工程の最重要設備「塗布現像装置（コータ・デベロッパ / トラック）」において、中国で唯一前工程量産ラインへの納入実績を持つトップメーカー。中国科学院瀋陽自動化研究所を母体として宗潤福らが設立。かつて日本の東京エレクトロン（TEL）が世界シェアの近9割を寡占してきた鉄壁の独占領域に切り込み、中国初となる12インチ液浸ArFi・KrF塗布現像機「KS-FT300」を開発。SMICや長鑫存儲（CXMT）で量産認定を獲得し、先端パッケージングから前工程基幹ラインへと急拡大する。
日本のビジネス視点（Japan Perspective）
コータ・デベロッパ（Clean Track ACT、LITHIUSシリーズ）で世界シェア近90%を握る東京エレクトロン（TEL）にとって、中国市場における唯一無二の直接対抗馬。ASMLやキヤノン、ニコンの露光機とのインライン同期インターフェース技術を巡り、日中の技術開発競争が最も先鋭化する領域です。