米KLAの過半独占に迫る半導体の目：中科飛測、欠陥検査の現実
半導体工場の歩留まりを左右する「工場の目」、検査・計測装置。米KLAが世界シェアの過半を独占し、日立ハイテクやレーザーテックが競う要塞で、中国首位の光学検査機を量産化した深センの中科飛測（Skyverse）。ナノ欠陥を捉える光学技術の突破と、最先端サブ7nmが突きつける壁を解剖する。
Devices
中科飛測（Skyverse / スカイバース）
Skyverse Technology Co., Ltd. · 深圳中科飞测科技股份有限公司
半導体製造の歩留まり（イールド）を左右する「工場の目」と呼ばれる半導体検査・計測（インスペクション・メトロロジー）装置で中国トップを走るメーカー。中国科学院微電子研究所出身の陳魯（Chen Lu）らが深センで創業。米国KLAが世界シェアの過半を寡占し、日立ハイテクやレーザーテックが強みを持つ検査市場において、無パターン・パターン付きウェハーの光学式欠陥検査機や3次元光学表面形状測定機、薄膜膜厚測定機を製品化。中芯国際（SMIC）や長江存儲（YMTC）、長鑫存儲（CXMT）の先端量産ラインに採用され、科創板上場（688361.SH）を果たした。近年は電子ビーム式測長SEM（CD-SEM）やHBM向けウェハー平坦度検査にも進出する。
日本のビジネス視点（Japan Perspective）
欠陥検査・計測装置で世界に君臨する米KLAに加え、CD-SEMやレビューSEMで高い世界シェアを持つ日立ハイテク、マスク検査で独占的なレーザーテック、ウェハー検査装置を手がけるSCREENホールディングスや東レエンジニアリングとの競合。光学設計と画像処理アルゴリズムの極限性能を巡り、直接の技術的対比が存在します。