TELの背中を追う80歳の闘将:中微公司、3nmエッチングの現実
米大手ラムリサーチやAMATの要職を歴任した尹志尭が、60歳で帰国し創業した中微公司(AMEC)。TSMCの3nm/5nm工程認証を勝ち取り、米国の特許訴訟を完勝したプラズマエッチングの巨人が、東京エレクトロン(TEL)の牙城を崩す快進撃の裏にある、露光機不在の物理的限界を暴く。
アプライド・マテリアルズ(AMAT)やラムリサーチ出身の尹志尭博士が創業した中国トップの半導体エッチング装置メーカー。自社CCP/ICPエッチング装置でTSMCの3nm/5nm量産ライン認証を取得し、3D NANDや先端ロジックの国産代替を牽引。
東京エレクトロン(TEL)にとって最大のライバルであり、米主導の対中半導体輸出規制によって日本の装置メーカーが規制される中、中国国内ファブでのシェアを急速に侵食する中核企業です。
米大手ラムリサーチやAMATの要職を歴任した尹志尭が、60歳で帰国し創業した中微公司(AMEC)。TSMCの3nm/5nm工程認証を勝ち取り、米国の特許訴訟を完勝したプラズマエッチングの巨人が、東京エレクトロン(TEL)の牙城を崩す快進撃の裏にある、露光機不在の物理的限界を暴く。